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高精度MEMS硅压力变送器的工作原理

文章来源:吉创仪表 作者:小艾 发布时间:2019-09-23 16:12:33
本来高精度MEMS硅压力变送器就是隶属于压力变送器的,高精度MEMS硅压力变送器只是比常用的压力变送器结构更复杂,精度更高罢了!
文本关键词:高精度,MEMS硅,压力变送器,工作原理

  压力变送器的原理

  根据单晶硅的压阻效用,在硅片上某一特殊方位上放优秀的微型机电加工技术性制做成延展性构件,在其恰当部位用集成电路工艺制做的4个电阻相同的力敏电阻器,组合成Wheatstone(惠斯通)电桥。释放1个恒向工作电压(电流量)给电桥,被测工作压力根据密封性在精确测量膜盒中的甲基硅油无耗损的传送到硅片上,智能变送器就输出与被测工作压力成线形占比的工作电压数据信号,随后根据电子电路把这一工作电压数据信号变大并转化成一线制的规范数据信号。
  由其原理所知,液位传感器是智能变送器关键构成,智能变送器的温度飘移关键来源于就是说硅液位传感器的温度飘移。当今针对硅压力变送器温漂赔偿的科学研究也关键集中化在硅液位传感器这些。

压力变送器

压力变送器


  高精MEMS硅压力变送器原理
  因为控制器的输出是是非非规范的数据信号,在具体运用中以便使控制器具备实用性及其有利于数据信号的传输和纪录,就将控制器与含有规范数据信号键入电源电路配套设施应用,使之输出符合规定的数据信号。这时输出规范数据信号的控制器就称之为智能变送器。
  简单点来说,智能变送器是以控制器逐渐发展趋势而成的。文中科学研究的外扩散硅压力变送器关键由MEMS控制器、精确测量膜盒和插口与解决电源电路(智能化线路板)三绝大多数构成。
  如下图所示,液位传感器与二级管温度感应器一块儿封装在精确测量膜盒顶端,再由二块密封性法兰盘捏住膜盒本身组成了智能变送器的精确测量部,承担把工作中当场被测的工作压力数据信号变换为工作电压数据信号。另有电子器件PCB线路板和液晶显示屏表头及接线端子排组成显示信息部,承担把控制器输出的工作电压数据信号根据变大、一线制信号分析转换4~20mA后,输出规范电流量数据信号。
  总之,本来高精度MEMS硅压力变送器就是隶属于压力变送器的,高精度MEMS硅压力变送器只是比常用的压力变送器结构更复杂,精度更高罢了!

 

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